钽基中低阻薄膜的一种.

本发明的技术效果：本发明的氮化钽片式薄膜电阻器具有精度高(0.05%)、电阻温度系数小(10ppm/℃)、耐潮、稳定性高及高频性能好等特点，由于氮化钽薄膜比其他薄膜产品相比具有 ...

反应磁控溅射制备出氮化钽薄膜后，常用的调控氮化钽薄膜的阻值的方法有激光修正法和热氧化法。激光修正法就是通过激光对氮化钽进行刻蚀从而达到调整氮化钽薄膜阻值的目的。

封装：, 0402~1206. 精度：, ±0.05%~±1%. 温漂：, ±10~±50ppm/℃. 功率：, 1/16W~1/2W. 阻值：, 10Ω~1MΩ. 特性：, 氮化钽 AEC-Q200. 马上咨询 ...

氮化钽电阻膜形成防潮的五氧化二钽阻挡层，可在85 °C /85% 相对湿度下承受数千次偏湿测试，这种精密稳健的性能是需要长期精密电阻的广泛应用的理想选择稳定性、可靠性 ...

Nov 5, 2020 · 原子层沉积氮化钽薄膜的研究进展 摘要 在集成电路中,铜互连工艺需要沉积一层连续且保形性良好的铜阻挡层。 氮化钽是一种过渡金属氮化物,由于其硬度高,导电性可控,对金属元素具有扩散阻挡的作用,在微电子工业领域中氮化钽是铜互连技术中研究最为广泛的扩散阻挡层材料。

中文名称. 钽基电阻薄膜 · 定义. 以钽为基体元素组成的化合物或合金电阻薄膜。包括氮化钽中、低电阻薄膜，钽硅耐高温高电阻薄膜及高稳定性的钽铝电阻薄膜等。 · 应用学科.

Apr 20, 2022 · 为13.4，熔点为3090℃，显微硬度为1100kg/mm2，热导率为9.54W/(m·K)，电阻率为128μΩ·cm。 氮化钽是一种化工材料，用来制造精度高的片状电阻的材料，氮化钽 ...

功能概述： 氮化钽电阻膜形成防潮的五氧化二钽阻挡层，可在 85 °C /85% 相对湿度下承受数千次偏湿测试，这种精密稳健的性能是需要长期精密电阻的广泛应用的理想选择稳定性、可靠性和关键环境。 TaN 薄膜电阻器适合您的高级设计。

◆Viking光颉TAR氮化钽薄膜精密电阻​​ 氮化钽电阻膜形成不透水的五氧化二钽阻隔层，可在85 °C /85% 相对湿度下经受数千次偏压湿度测试，这种精密稳健的性能是需要长期精密电阻的广泛应用的理想选择稳定性、可靠性和关键环境。 TaN 薄膜电阻器适用于您的高级设计。